近日，半导体工艺核心装备消耗性备件研发生产商微睿光电宣布完成数亿元B轮融资，本轮由三行资本与石溪资本联合领投，元禾辰坤、燕创资本等多家机构参与投资。
三行资本投资总监王文川表示：“在泛半导体制造本土化的国家意志和历史浪潮下，国产核心部件制造商的崛起是大势所趋。目前设备原厂以及传统外资配套厂商仍然占据大部分的市场份额，特别是针对泛半导体先进产品和半导体先进制程。微睿光电由国内资深泛半导体团队创建，实现了核心机台部件维保和制造工艺的国产化，我们看好团队借中国泛半导体高速发展的东风，在更多卡脖子产品和技术上取得突破！”
中国泛半导体产能仍处于扩张周期，京东方、华星等客户都有一座以上LCD工厂的新建或大规模扩产计划；OLED工厂产能快速释放，普遍采用7-MASK工艺，对腔室部件的需求量进一步提升；SEMI预计到2022年全球将新建29座晶圆厂，超过一半将位于中国。
CVD、PVD、Dry机台是泛半导体的主工艺设备，腔室内部件需要周期性的维护再生和新品采购，包括上下部电极、Diffuser、Susceptor、Shadow frame、Backing Plate等等，涉及工艺包括阳极氧化、陶瓷coating等等，对成膜均匀度、厚度一致性等有非常高的要求，长期以来受制于设备原厂和传统外资配套厂商的制约。
合肥微睿光电科技有限公司成立于2016年，是在合肥新站高新技术产业开发区投资创办的高新技术企业。公司主要从事制造并再生LCD、半导体工艺核心装备的消耗性备件及高性能基座，弥补并改变了国内LCD维修、半导体工艺核心装备的消耗性备件及高性能基座生产的空白，为中国平板显示产业链的国产化持续贡献力量。
公司创始人及其团队与国内核心半导体显示工厂、晶圆厂和核心组织合作密切，技术专家团队由多名十年以上海内外行业内资深人士组建，落地能力强，标杆客户及合作伙伴包括LG、华星光电、京东方、惠科、维信诺等，多款国内首台套产品已经在客户端完成了设计、组装、调试、交付。目前公司授权发明专利超过10件，同时有10件以上的发明专利正在申请当中。
